新微半导体发布砷化镓光电探测器工艺平台
来源:赵辉 发布时间:4 天前
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6月17日,上海新微半导体有限公司(简称“新微半导体”)正式推出基于砷化镓(GaAs)的高速和阵列光电探测器(PD)工艺平台。
新微半导体自成立以来,专注于为功率和光电两大应用领域提供晶圆代工及相关服务。除了此次发布的砷化镓光电探测器工艺平台,公司还拥有基于3/4英寸磷化铟(InP)材料的全系列光电工艺解决方案,以及氮化镓(GaN)功率器件制造平台。其产品广泛应用于通信、新能源、消费电子、汽车、工业和生物医疗等多个终端领域。
据公司介绍,该平台采用4英寸GaAs/AlGaAs异质结外延技术,并结合深台面刻蚀、侧壁钝化及BCB/PBO平坦化等关键工艺,具备低暗电流、低电容、高响应度、高带宽及高可靠性等优异特性。其代工产品能够在-40℃至85℃的宽温范围内稳定运行,确保设备在极端环境下的性能一致性,为终端设备的可靠性提供保障。
在可靠性验证方面,该平台的代工产品已通过Telcordia GR468标准测试,涵盖HTOL(高温工作寿命)、ESD(静电放电)、T/C(温度循环)及THB(高温高湿寿命)等关键测试项目。在175℃的HTOL测试及THB(温度85℃、湿度85%RH)测试环境中,施加-5V偏置电压条件下,三批产品(抽样标准77颗样品)经过2000小时老化后均实现零失效,满足通信级可靠性要求。

图源:新微半导体
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赵辉
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