据中国电子报、科创板日报等媒体报道，2025年第一季度，中国半导体设备企业在“本土替代”采购的推动下，多数实现营收增长，但利润表现呈现两极分化。科创板的12家半导体设备企业中，有11家营收增长，其中9家的年增长率超过25%；净利润方面，仅有6家企业实现同比增长，4家甚至出现超过100%的下滑。

中微半导体设备的表现较为突出，其第一季度营收达21.73亿元，同比增长35.4%；净利润为3.13亿元，同比增长25.7%。中微表示，其蚀刻设备在逻辑芯片制造领域已覆盖28纳米的大部分应用，并成功打入5纳米及以下制造环节。公司预计第二季度营收将在25亿至30亿元之间，同比增长30%至35%。

盛美上海的净利润同比增长207.21%，达到2.46亿元，营收为13.06亿元，同比增长41.73%。盛美上海董事长王晖透露，公司湿法设备在中国逻辑芯片市场的占有率已突破25%。2024年，其半导体清洗设备营收达40.57亿元，同比增长55.18%。

京仪设备的表现同样亮眼，第一季度营收为3.38亿元，同比增长54.23%。公司成功开拓新客户，其设备已进入长江存储、中芯国际等企业。SEMI数据显示，2024年全球半导体设备销售额达1,171亿美元，预计2025年将达1,210亿美元。

部分企业如拓荆科技虽营收增长50.22%，但净亏损达1.47亿元。主要原因是12纳米以下先进制程设备的研发投入增加，新产品销售收入占比近70%，导致毛利率较低。